不了多久,就会被国外追上了!徐教授很着急!
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在后世,秦锋也并不知道这个157纳米的光源为啥不能用,但是他知道,尼康赌这个系统,然后失败了,而当时无数次濒临破产的asml,把制胜的法宝押在了林本坚的浸润式光刻机上,于是成功了。
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所以……这还用说吗?
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“既然这种光源有问题,那就不要用了。”
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“那我们用什么?”徐教授的目光中带着焦虑。
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“还用之前的193纳米。”
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徐教授睁大了眼睛,不可思议地看向秦锋,秦总,这个光源不够用啊!
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不过……秦总既然这么说了,肯定有他的道理,还是听一听他怎么说。
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“将这个光源穿过去离子水,水的折射率是多少来着?这样一换算,应该能将波长降低到130纳米左右吧?”
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徐教授深深地呼吸了一口气,一旁的倪老已经开口了:“换算过来,是133纳米,这样比157纳米的光源还要小,但是……”
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徐教授的脸上带着苦笑:“秦总,咱们的光刻机里是有电路的,您要在光刻机里加水……”
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这听上去,有些扯淡啊!
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秦锋笑了笑,林本坚当年在硅谷介绍这种技术的时候,所有人都以为他是在扯淡,毕竟之前的光刻机都是干式的,要在里面加水?脑子进水了吧?
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只有那个即将破产的asml,决定押这种技术,然后,asml就发展成为了世界第一光刻机大厂,苦心钻研157纳米光源的尼康,就彻底落后了!
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“听我的,没有错,早期光刻机还是用液压驱动的,里面的液压
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