失真。
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光刻过程中,刚才王多鱼提及的caf2光源,其光线波长极短,能量极高,透镜受到高能量光的加热,因此透镜材料必须具有良好的热稳定性,以防止由于温度变化导致的焦点漂移问题。
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所以在研发过程中,对这样的材料技术要求自然是非常高。
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王多鱼或许就不具备这样的细致心理,甚至细微的失败,都有可能让他抓狂。
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这种科研并不会给他带来任何的成就感,因为难度系数非常高,他自觉做不了。
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就好像要让李康民他们去求导求解那些数学难题一样,他们绝对是没办法做到的。
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“王教授,如果我们真的要启动这个项目,按照您刚才的建议,只怕这次的投资会更高.”
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李康民沉吟说道,目光中透露着担忧:
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“我就怕校领导层会不太愿意,这一次需要很多种材料和高端设备,特别是您提及的caf2光源,这种光源.”
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众所周知,光源是光刻机的核心部件之一,必须具备良好的光学性能、稳定性和耐久性,氟化钙便是光刻机光源的重要材料。
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作为一种常见的光学材料,氟化钙可以用于制造光学元件、窗口等,其化学式便是caf2,是一种无色透明的晶体。
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由于其具有较好的光学和物理性质,氟化钙的透过率高,能达到百分之九十以上,且在紫外到红外的波段范围内具有较高的透过率。
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但是在制备光刻机光源过程中,氟化钙的制备要求精度高、晶体结构均匀无疵点,并且氟化钙的表面要平整、光洁、无裂纹、无划痕等表面缺陷。
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另外,光刻机光源的使用过程中,还需要对氟化钙的温度、湿度等环境
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