第455章 EBL光刻机开始测试

果断回答，随即放下手头的工作，离开办公大楼，快步朝实验室走去。

走在路上，看着路两旁的绿树，郝强的心中满是期待。

EBL光刻机的研发历程并不平坦，经历了无数个日夜的努力与坚持，终于迎来了这个关键时刻。

他知道，这不仅仅是一台机器的测试，更是整个团队心血的结晶。

当他走进实验室时，科研人员们的脸上洋溢着兴奋的神情，空气中弥漫着紧张而期待的气息。

组长站在设备前，满脸期待地指着刚刚组装好的光刻机，仿佛是在向郝强展示一件珍贵的艺术品。

“总算组装完成了，就是有点担忧。”组长的声音中透着激动，又有一些担忧。

第一次测试，多多少少会有些问题。

小问题还好，若是大问题的话，就有可能前功尽弃。

汽车公司和锂电公司的希望全压在他们身上。

“嗯，我再次检查一下。”

郝强走近设备，仔细打量着每一个细节，心中感慨万千。

他想起了团队成员们在实验室里加班加点的日子，想起了那些熬夜调试、反复试验的身影。

每一个人都在为了这个目标而努力，付出了巨大的心血。

抚平心情，认真地检查。

其实，在组装之前，每个零部件都进行过测试了，确保总测顺利。

郝强眼前这个样机EBL001，主机尺寸长4米，宽2.5米，高约3.5米，重约3.5吨。

整个系统包括控制机柜、真空泵系统、冷却水循环系统、减振台座、操作控制台等，全套系统重约10吨。

算上这些配套设备，一台EBL光刻机就不止十平方米了，通常需要至少50平方米的，要求室内净高达到4米，且对地面稳定性有较高要求，重新打了地基，免得工作时影响了工作精度。

当然，哪怕精度是相对性的，理论上跟地面震动没有影响，但纳米级设备要求就比较高。

除了避震要求外，还要求恒温：20±1℃

-相对湿度：45±5%

洁净度：Class 100-1000级

以及要求良好的电磁防护。

大概一个小时后，

郝强也没有发现什么大问题，但还是有些担忧，让组长开始测试。

随着组长的指令，测试正式开始。

实验室内的气氛瞬间变得紧

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