到深紫外光的程度,还处于G线光刻机和I线光刻机的时代,光源使用的也还是高压汞灯。
高压汞灯国际上能够生产的厂商不少,并不是什么特别稀缺,难以买到的资源,光源的重要性提升,是要等到光刻机光源需求,提升到激光发射阶段之后的事情。
但光路系统的重要性,此时已经开始逐步的显现了出来。
早期的光刻机,是采用的1:1投影技术,那时光刻机的光路系统,还比较简单。但随着投影光刻技术的兴起,在掩膜版和光刻胶之间采用了具有缩小倍率的投影成像物镜,有效提高了分辨率。
这就就需要更复杂的光路系统来实现,而对这个光路系统中的各种光学镜头的要求也就开始不断的提升了。
霓虹的尼康,原本就是给灯塔GCA提供镜头的供应商,正是由于镜头的相关技术在光刻机中的重要性日渐提升,尼康才有机会成功超越了GCA。
这种光刻机所使用的镜头,生产难度就非常的高了,全球只有一些真正的光学巨头才能生产。后世能够生产光刻机用镜头的厂商其实只剩下蔡司、尼康、佳能了,而其中又以蔡司的水平最高。
80年代的时候,这些光学镜头的需求还没有那么变态,还有不少的厂商能够进行生产,而这恰恰是这个时代,光刻机最容易踩坑之处,一旦选错了镜头供应商,光刻机企业离废就不远了。
陈兵很熟悉这段历史,自然不会去踩坑,不会去随便选择镜头供应商。尼康、佳能本身都有光刻机业务,想从他们那里买光刻机镜头,是很困难的,陈兵其实只有一个选择,就是日耳曼的蔡司公司。
这个时候,日耳曼还没有重新合并,还被分成了东西两部分,而历史悠久的光学巨头蔡司,也被分成了西蔡司和东蔡司。
陈兵在海外的光刻机研发主要依靠的是阿麦项目,就是找上了西蔡司在进行合作。而陈兵在内地还有一个光刻机的企业,启航半导体设备,现在的镜头供应商就是找的东蔡司。
陈兵去年找上长光所,达成了许多的合作内容,而其中一个重要的内容,就是关于光刻机的镜头的。
未来如果要生产国产的光刻机,是离不开镜头国产化的。长光所是当前内地这方面技术储备最深的,这个东西难度再大也必须要搞。
而在陈兵的资金支持下,长光所不仅在自己加大镜头的工艺研发,并且通过更加高层的关系,也已经联络上了东蔡司,并正在就镜头生产工艺的引进,在与东蔡司进行谈判。<
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