第1621章 从40nm到27nm的跨越

“193nm波长下，1800物镜组的等效数值孔径（NA）实测最大值为1.8009，最小值为1.7996，NA一致性达到±0.0013，该数值远优于我们设计指标要求的±0.006，也完全符合设计方案中理论NA值1.80的预期……”

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“全视场振幅极化量RMS（均方根值）实测最大11.85%，最小11.80%……”

“全视场相位延迟量RMS实测最大3.77nm，最小3.45nm……”

实际上，这里面的多数参数都是之前就已经测完的，而且往常也不需要他专门汇报一遍。

报告导出来，大家分别翻阅就行了。

但此刻面对亲临一线的栾文杰，这份详尽到几乎冗余的数据汇报，就显得格外“恰到好处”且分量十足。

“等等。”

果然，栾文杰打断了后续的参数报告。

他既然是专程来考察光刻机，那对于这些基本参数自然有所了解。

虽然被一大堆突然涌入的数据搞得有些头脑发胀，但还是敏锐地捕捉到了其中最关键的部分。

NA值，1.80！

“我记得之前提交上去的那份评估报告里，最高规格的数值孔径预估是1.70？”

面对这个问题，张汝宁脸上露出一丝茫然。

他并不清楚有个什么评估报告的事情。

常浩南则立刻接过话头解释道：

“栾主任，那份报告里使用的1.70数值，值是我们在进行不同技术路线横向比较时设定的……嗯……参照基准，当时为了公平对比，说明镥铝石榴石体系的优势，我设定的前提是其他所有条件，比如光源、视场、机械平台等都保持一致。”

“但在实际设计过程中，因为物镜组的整体结构变得简单了很多，所以这套系统的底镜有效视场比之前的1500物镜组拓宽了大约15%……换句话说，在相同NA值要求下，光线通过物镜边缘区域的入射角度可以更小，这极大地减轻了设计超高NA系统时最难克服的边缘像差压力……”

“……”

“总之，”他最后总结道：“这0.1的额外提升，是设计自由度增加带来的实际工程红利，也是新方案综合优越性的直接体现。”

栾文杰未必完全听懂了他的长篇大论，但眼前的结果显然令他心情大好：

“

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