第23章 极紫外光源设备

？”

“林总，不是把这两种物质，研磨成细小颗粒，然后再熔融成柱状物吗？”

徐晴被问愣住了，她红着脸说出之前的做法。

“研磨成细小颗粒？你能研磨到多细小？”

林浩有些好笑，要知道，芯片的材料可是纳米级别的，研磨怎么能达到要求呢？就算研磨到纳米级，掺杂起来仍然不会均匀的，除非......

徐晴的脸更红了。

半天没说话。

过了好久，她才看着林浩问道：

“林总，那要怎么做？”

林浩继续在思考。

他刚才其实已经有了思路。

接着就稍微酝酿下，然后正色道：

“徐晴，还记得咱们在碳纳米球碳晶制造的过程吗？在生成碳晶前（这时碳晶还是液态），我们需要在这个时候添加纳米级的单质碳，这样做可以做到充分掺杂，而且保证纯度。”

“还要在无尘环境下操作。”

林浩继续补充，给出了他认为最有可能的方法，至于最后能不能成功，仍然是个未知数，这太难了。

徐晴也在思考。

稍后就说道：

“林总，我可以重新做的，只是，现在咱们的碳晶制造设备，已经被挪移到1号厂房了，那边没有无尘环境，而且单质碳的提纯，也需要相关设备，还有你说的纳米级研磨也需要设备的。”

“嗯，设备我来想办法，无尘环境就用6号厂房，这两天我会弄好的，你就按照我说的，要多次尝试，寻找合适的掺杂比例，做出能用的半导体材料，碳晶圆。”

林浩是有伊娃帮助的，制造这些设备并不太困难。

徐晴默默地记下。

能博士毕业的，基本上都能算学霸，至少也是个小学霸，林浩说的掺杂流程，还有让她注意的掺杂比例，这需要不停的多次实验，甚至是大量的实验。

不过这有什么关系呢？

多花时间就行。

......

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