第23章 极紫外光源设备

心来，至于成功率低下，问题不大的，至少说明他的思路是没有问题的。

徐晴稍微思考。

然后正色道：

“林总，共有三个步骤。”

“首先使用高功率二氧化碳激光器，照射金属锡滴，第一个激光脉冲用于预处理，将锡球压扁形成一个扁平的圆盘，以便更好地吸收后续的激光能量，第二个激光脉冲则是主脉冲，用于激发等离子体产生。”

“当锡滴被激光轰击后，迅速汽化并形成高温等离子体，在这过程中，锡原子被高度电离，形成锡离子（+8到+14价态），并产生共振跃迁，释放出波长为13.5纳米的极紫外光。”

“由于极紫外光的波长非常短，咱们使用特殊的镜子，这些镜子是由金属钼和硅交替排列的多层结构制成，每层的厚度仅为几纳米，以确保极紫外光能够被有效反射。”

“然后就得到了极紫外光。”

“我共计做了三十三套设备。”

“虽然目前还不能确定失败的最终原因，但是也能预估个大概，可能是镜片问题造成的。”

“这些镜片是多层结构，每层仅仅几纳米，我估计可能是研磨平整度不够，导致光源在反射过程中有偏差，这样筛选出来的波长，就不能控制在有效范围内。”

“目前只有两套成功。”

林浩听完就笑着点点头。

他不知道国外是怎么做这种极紫外光源的，成功率又是多少，每套光刻机只要1个这种设备，现在他都造两个了，这还有什么好担心的呢？

于是就笑着说道：

“徐晴，你做的很好，再继续多做几个，这块咱们就结束掉，进入下个环节。”

“林总，这个失败率太高，意味着成本极高。”

徐晴想找原因，这是科研人员的通病，什么事情都想尽善尽美。

林浩微笑起来。

他又不指望卖光刻机。

成不高就高些，有什么好担心的呢？不过看到徐晴的样子，还是问道：

“咱们现在单套成本是多少？”

徐晴在沉寂思考中。

然后抬头说道：

“每套大概要1600多万吧，主要是咱们的成功率太低了，连10%都没达到啊。”

“额......”

林浩皱起眉头，只是个极紫外光源而已，在整个光刻机的设备中，真的只是极小部分，不过这是核心部件，唉，成

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