第457章 震撼人心：EBL光刻机研发成功！

不是/150＝471）。

初期良率为80%，实际合格品可能在320颗/晶圆。

一般来说，由于汽车电子对可靠性要求极高，工艺先进且结构复杂，初期良率可能只有50%～60%，成熟后可提升到70%～80%已经是非常厉害的了。

而未来科技集团的芯片良率能达到80%，主要还是晶圆的纯度高！

当然，EBL光刻机的稳定性也是极关键的。

要是光刻机不稳定，那一颗都不合格。

郝强仔细查看了测试报告，满意地点了点头：“这个成果确实令人振奋。

不过，我们还需要进一步优化和提升，争取把良率提升到90%，同时早日达到5nm甚至更小的线宽。

要知道，EBL光刻机可以做到1nm以下的线宽，我们的晶圆纯度也满足要求。”

“是的，董事长。

我们已经制定了下一步的研发计划，相信在不久的将来，我们就能实现这个目标。“陈列自信地回答。

郝强环视了一圈实验室，看着这群为公司半导体事业奋斗的科研人员，还挺感激他们的。

“各位辛苦了，你们为公司作出了巨大贡献。

最近一两年，大家都绷紧神经了，没有好好休息过。

这一两天先整理一下资料，我给大家放半个月假期，每一位员工最高可报销2万元的度假福利。”

这个消息立即在实验室内引起了一阵欢呼，科研人员们纷纷鼓掌，脸上洋溢着喜悦的笑容。

2万元啊，可以带家人随便在国内玩个够了。

“董事长，汽车公司那边催得紧，他们急需一批芯片，早点出芯片，公司损失就少一些。”陈列有些歉意地说道，眼神中带着一丝忧虑。

“不要有太大压力，晚半个月也无妨，大家的身体比金钱更重要。”郝强轻轻摆了摆手，语气平和地说，“你们先好好休个假，回来再组织加班赶工。

不过记住了，出去旅游一定要注意安全，千万别暴露身份。

考虑到当前的国际形势，最好还是别出国了。”

陈列眼中闪过一丝感激：“那我们就恭敬不如从命了。

说实话，这几天为了赶进度，团队成员几乎都在通宵达旦地工作。”

过去的许多个日日夜夜，整个研发团队都在承受着巨大的压力。

实验室和办公室的灯光总是亮到深夜，每个人都在为攻克技

本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第4页 / 共5页