“光刻联盟”半导体公司总经理叶海亚从去年年末到现在一直处于兴奋和激动之中。在近一年的时间内,“光刻联盟”各成员公司陆续传来突破技术封锁的消息。
去年10月,北方华创首先传来捷报,新一代刻蚀机和薄膜设备研制成功比原计划整整提前半年多时间。
11月,中微电子和国望光学股份分别传来好消息:中微电子突破5纳米刻蚀设备,即将应用在台积电的高制程芯片生产当中。国望光学股份突破14纳米光刻曝光光学系统,现在马上向7纳米光刻曝光光学系统发起冲击。
12月,传来喜讯的公司就更多,沪微电子、路维光电、华卓精科科技股份几乎同时传来好消息。其中沪微电子新一代封装设备和检测设备研发成功,即将投产。路维光电研发成功新一代掩膜设备。华卓精科科技的新一代晶圆生产设备与高科技检测设备已经正式通过验收。达到国内领先水平。
春节过后,长春国科精密、科益虹源陆续传来好消息。长春国科精密在高精密曝光设备方面取得历史性突破,即将应用在国产高端IC设备上。科益虹源突破高端制程的光刻机光源设备系统。
叶海亚看着一份份传递着高科联盟不断技术突破的捷报,内心的喜悦是不言而喻的。绝大部分关键技术诞生的进度都在按时间节点前完成。
去年腊月二十四,在“光刻联盟”公司总部——沪市举行了2021年度总结大会,叶海亚自然是向大家通报了各公司的成绩。并代表“光刻联盟”公司向各研发团队颁发了奖状和奖金。
在当下,兔子和大漂亮在光刻机上遏制与反遏制的斗争中,在芯片产业上刺刀见红的时候,物资奖励就是对这些奋斗者最好的奖励。
也许是受到了前面六家公司成功突破关键技术的刺激,长春国科精密、科益虹源终于在二月底获得重大技术突破。
截至3月底,“光刻联盟”公司用接近一年的时间内诞生了第一台国产14纳米光刻机,将兔子的光刻机技术提高了整整一代。不过花的钱也不少,整整超过600亿。
随即,叶海亚在给所有股东的信中说道,“光刻联盟”公司已顺利完成第一阶段战略目标。第一批20台14纳米光刻机将于5月底上市,到时将给公司带来第一批利润。他请大家继续发扬艰苦奋斗的科研精神,下定决心,排除一切困难,再苦一年,争取在明年这个时候拿下7纳米国产光刻机。只有到那个时候,我们才真正不会受制于人。
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