第461章 一个C而已
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黄新华笑道：
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“好，那我们来说研究的事情吧。”
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“我们现在正在尝试改进原先的化学放大光刻胶。”
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“我根据你的想法，目前在尝试开发具有更高玻璃化转变温度的树脂，以提高热稳定性……”
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他简单地讲了讲正在进行的实验。
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化学放大光刻胶，利用光酸生成剂在曝光或产生算，通过后烘过程催化光刻胶的化学反应实现化学放大效应。
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在改进的方向上。
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李暮提出了6个方向。
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其中最简单的，就是树脂体系的优化。
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开发具有更高玻璃化转变温度的树脂，只是第一步。
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接下里还要通过精确控制树脂的分子量分布，减少显影过程中的不均匀性。
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以及使用低分子量树脂提高分辨率。
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“不过在使用低分子量树脂的时候，平衡机械强度和抗刻蚀性上，我们遇到了一点小麻烦。”黄新华最后道。
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在优化的过程当中，他们发现。
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低分子量树脂的分子链较短，会导致材料的机械程度下降，更容易断裂或变形。
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还有树脂结构上。
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因为致密度不够，抗刻蚀性也会下降。
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李暮沉吟片刻，道：
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“那就通过化学交联，在低分子量树
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