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这里每一处都一尘不染,因为哪怕是一粒微小的灰尘,都可能导致整批芯片产品报废,造成巨大的损失。
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车间内此刻摆放着众多的先进设备,这里面差不多有一半的设备是王建昆用超能力制造的,其中的光刻机,蚀刻机和离子注入机就是智子设计,王建昆用超能力生成的。
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此刻生产线已经开动起来了,身着防护服的工作人员在设备间来回穿梭,专注而严谨的执行着每一项任务。
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在生产线的源头,如镜般光滑的晶圆被小心的从存放的晶圆盒里取出,它如同一块含着无限可能的璞玉。
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晶圆被放入涂胶机内,首先进行了两道清洗程序,去除可能存在的灰尘,然后滴上光刻胶,晶圆在转动时,光刻胶被均匀的涂覆在晶圆表明了,过程虽然描述起来简单,可是各种参数都是经过了详细测试的。
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光刻胶涂抹均匀并硬化后,接着,就来到了光刻环节,这就像一场精准的光影绘画。
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光刻机犹如一位神奇的画师,将设计好的电路图,以深紫外线(duv)为画笔,在晶圆上近 40个不同的位置精准成像电路图案,每个影像单元(field)的曝光成像在约 0.1秒内完成,而晶圆平台则以高达 7g的加速度高速移动,又能在瞬间急停并回头反向扫描,其过程快如闪电却又精准无误,仿佛在晶圆上演绎着一场高速而精确的舞蹈,就这样将电路图“雕刻”到晶圆上。
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被光照射到的部位,光刻胶发生化学反应,在清洗环节不会被化学试剂洗去,没被照射到的部位,光刻胶被去除,露出下面的晶圆。
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而后是蚀刻步骤,如同一位技艺高超的雕刻大师,根据光刻留下的图案,利用蚀刻机把晶圆表面不需要的材料精准去除,就像在精心雕琢一件艺术品,使得电路图永久地留在晶圆上,此时的晶圆如同一张有着复杂线路图的微型城市地图。
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再经历离子注入工序,犹如为这座微型城市注入
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