“喂,哪位?什么?生产线又出故障了?”
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蒋尚义瞬间就是睡意全无,穿上了衣服,匆匆赶往台积电的生产线。
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看着生产线上重现的故障,蒋尚义有一种想要死的感觉,太折磨人了!
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不过,有了上次的经验,他们已经知道,这种复现的故障,还是光刻胶的问题,于是,继续实验新的涂片方式,又折腾了三天的时间,终于,生产线重新恢复!
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不过……蒋尚义已经没有了上次的轻松,他留在了公司,继续等待,生产正常,正常,正常……等到十五个小时之后,故障重现!
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这次,他并没有着急检修故障,而是看着生产工艺的流程,终于发现了规律:每当换新一桶光刻胶的时候,就会出现问题!当有问题的光刻胶用完了之后,再换一桶,就是好的!
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生产线的问题,不是因为光刻胶涂抹得不均匀,而是因为这光刻胶的质量不稳定!
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没错,就是质量不稳定!
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“立刻检查所有的光刻胶!”蒋尚义咬牙切齿。
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“蒋总,光刻胶一旦开桶,必须用掉,否则和空气接触氧化,就会变质……”
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蒋尚义脸色难看:“哼,如果我猜得没错的话,其中一部分,已经变质了!全部开桶检查!”
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于是,所有的光刻胶都被打开,抽取样品,送到化验室,三个小时之后,化验室送过来了检验结果:其中半数的光刻胶都有问题!
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这种全新的193纳米激光光刻机,需要配套全新的光刻胶,岛国的光刻胶生产企业,初次生产这种光刻胶,所以,质量上参差不齐!
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“都怪我们太相信岛国的jsr公司了,如果我们
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