udv-400型光刻机,套刻精度为五点五纳米,采用单次曝光技术就已经满足28-45纳米节点的芯片生产。
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这款光刻机的早期型号尽管生产效率不太行,导致芯片的生产成本会比较高,但是其意义是非常重大的。
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该款光刻机的出现直接导致了老美的那几家财团打消了在duv浸润式光刻机领域里封锁智云集团的念头……徐申学都已经做出来了同类的光刻机了,继续封锁已经没有了太大意义。
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后续,仙女山控股旗下的海湾科技又做出来了深度改进型号hduv-500型光刻机,不仅仅生产效率大幅度提升,达到了asml同类产品的水准,更具备了三点五纳米的套刻精度,这意味着该款光刻机可以使用双重曝光技术,用来生产等效12-18纳米工艺节点的芯片。
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上述的hduv-400以及hduv-500虽然做的都挺不错的,但是部分技术细节上还是略有不如国外的asml同级别产品的,毕竟研发时间仓促,能够搞出来就不错,一些小问题后头可以慢慢解决。
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这也是当时虽然智云微电子采购了这两款光刻机,但是依旧采购了不少asml的nxt1950以及1970光刻机的缘故,当时采用的还是两条腿走路的方式。
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但是等到hduv-600时代又不一样了,这款光刻机可以说汇集了仙女山控股,不,甚至是整个华夏工业体系的所有顶级科技。
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并且在徐申学的大量资源投入下,大量科研人员的日夜奋斗之下,这款光刻机的技术进行了非常快速的迭代,从一开始的勉强可用的基本状态,再到改进型a型号,再到完善型号b型号。
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等到hduv-600b型的时候,其基本性能已经完全不弱于asml的同级别nxt1980光刻机,也就是无故障时间短了点,后期维护稍微麻烦一些。
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但是在生产效率,制造精度上已经属于同一层次了。
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