duv-600型光刻机,此外还包括辅助使用的hduv-500型号光刻机以及hkrf-34光刻机等,同时也包括后道光刻机,蚀刻机以及离子注入机等核心设备,只要海湾科技有的,技术指标能够达到要求的,我们都会使用!”
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\x08“该产线的进度表也和第一产线类似,虽然核心的hduv-600光刻机到货会晚一些,不过问题不大,应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”
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“只不过该产线的生产效率要低一些,成本也会更高一些!”
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“生产效率上,还需要海湾科技继续努力了!”
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徐申学一边听着,一边看着手中的技术报告。
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两条等效七纳米工艺的产线,一条是清一色进口,而另外一条则是国产和进口设备混搭。
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其他的都还好,但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。
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这个时候,跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的ceo王道林道:“我们的hduv-600型光刻机和asml的nxt1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”
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“分辨率都是38纳米,数值孔径一点三五,套刻精度都是二点五纳米。”
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“这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标,少一个都不行。”
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“不过除了这三个核心指标外,还有一个指标上我们的hudv-600光刻机就存在一些差距了,那就是wph,即每小时处理晶圆片的数量。”
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“这个数据越大,光刻机单位时间内的产量就越大,产量越大,生产效率越高!”
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“作为对比,asml的nxt1980光刻机,其wph是二百七十五片。”
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