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目前在十纳米工艺节点上,智云微电子这边的进展还算顺利,第二十一号厂主体部分都已经完成,目前还处于设备的安装调试阶段,预计明年年中就能完成工厂的准备工作,然后配合工艺部门进行十纳米工艺的各种研发测试,一切顺利的话,后年第一季度将会大规模量产。
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再往后的话,则是七纳米工艺了,这个更难一些,需要的时间也更久……毕竟这个工艺节点的话,使用duv浸润式光刻机来生产,就需要采用四重曝光了。
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而这种先进的光刻机,asml那边预计要明年年初才能够陆续向智云微电子交货,不过一开始也就一台,然后陆续会交付第二台,第三台,预计一直要到后年第一季度,才会交货完毕。
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整个交货时间,会拉长到一年以上!
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交货期之所以拉着时间长,还是零星的一台一台的交货,那是因为先进duv浸润式光刻机关系重大,几大半导体厂商现在斗法的很厉害,谁也不愿意落后。
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而根据徐申学和美财团那边达成的临时口头协议,duv浸润式光刻机这东西得轮流交货……大家都一起用!
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不然就和euv光刻机一样,大家都没得用!
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因此asml目前是同步向智云微电子,台积电,英特尔,四星这四家厂商提供这种先进光刻机,而且还是一台一台的轮流交货,直到初期这一批的订单交付完毕为止!
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而这款asml那边的先进duv浸润式光刻机,足以满足四重曝光生产,能够用来生产7纳米芯片的光刻机……乃是智云微电子,同样也是其他几家半导体制造厂商搞七纳米芯片的关键设备。
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当然,智云微电子订购asml的这款光刻机,那只是为了稳一手……实际上不出大意外的话,明年年底海湾科技就能够开始为智云微电子提供hduv-600型光刻机。
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