与此同时。
火炬实验室,地下测试中心。
自从一个月前亲眼见证了宏观负折射透镜的存在之后,张汝宁研究团队的工作方向就发生了根本性的变化。
出于最严格的保密要求,长光集团本部在表面上一切如常,ArF-1800项目仍在按原有折反式路线推进。
然而实际上,那些厚厚的、凝结了无数心血的设计手册,已被悄然锁进了最深的档案柜。
张汝宁本人则带领一批最核心、最可靠的技术骨干,直接搬到了京城开展工作。
这一次,火炬实验室非常慷慨地借出了一部分空间,以便与长光项目团队紧密协作。
之前不让连海化物所那边派人过来,就是因为不想泄露负折射材料的秘密。
而对于张汝宁,自然不存在这方面的顾虑。
毕竟人家本来就是光刻系统的核心设计人员。
不过,协作归协作。
区区一个月的时间,倒是还不够两边搞出什么大新闻来——
负折射材料的存在确实简化了物镜系统内部的光路分布,但对于每一组透射/反射元件本身而言,需要关注的部分反而变多了。
而且,Ga-Ge(0001)的制造和成片本来就困难,而透镜组又不可能只包含平面镜。
如何把这种新玩意弄成曲面镜,也耗费了常浩南和栗亚波不少精力。
而此刻,就是检验结果的时候。
所有人的目光都聚焦在实验台中央。
那里正摆放着一台高精度的泰曼-格林型激光干涉仪。
从镜片支架的预留孔位来看,即将接受检测的,是一个三透镜系统。
其中一号位的融石英镜片和三号位的氟化锂钡镜片都已经被安装到位。
只剩下二号位置还空着。
它也将是决定这次关键实验成败的核心。
几分钟后,实验室的气密门滑开。
栗亚波的身影出现在门口,手上捧着一个透明的隔尘保护盒。
每迈出一步,都是小心翼翼。
“张研究员,基本测试已经完成了。”
他把盒子稳稳放到张汝宁面前。
盒子内部是一块泛着铅灰色的凸透镜片,
被特制夹具固定着。
正是Ga-Ge(0001)制成的二号透镜。
张汝宁俯下身,仔细观察了片刻。
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