放松下来。
然后示意助手将其中一块硬盘连接到会议室的专用电脑上:
“那我们就开始?您这边的新理念,或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”
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ArF-1800项目是长光的心血,对标的是ASML的NXT:2000i系列,属于当前DUV体系下的最顶级产品。
他也很想看看,对方能拿出什么新的理念来交流。
然而,常浩南却轻轻摆了摆手,示意那位助手先别动:
“张研究员,先不急着看资料。”
这个态度,让另外二人有些愕然。
“火炬实验室的新理念,是完全……颠覆性的。”常浩南解释道,“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限,关键在于思路,包括折反式系统的设计方法,还有一些关键过程和数据。”
张汝宁脸上的笑容微微一滞,眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。
参考价值有限?
他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案!
这位常院士的口气,未免太大了些。
不过,他倒也不至于表露出来,只是点了点头:“那我们就客随主便听常院士您安排就是。”
常浩南也看出了对方的小情绪,但只是起身,做了个请的手势:
“二位跟我来。”
张汝宁和吴明翰对视一眼,都看到了对方眼中的疑惑。
对方强调两个人,那意思当然是不能带随行人员。
好在这是国内,倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。
于是两人将随行人员留在会议室,只身跟随常浩南,深入到了火炬实验室的地下测试中心。
刚一踏进测试大厅,张汝宁的目光就被吸引住了。
“这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪?精度能达到亚微米级了!”
他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备,如同看到稀世珍宝。
如果不是有一层窗户挡着,怕是要上手摸一摸。
“还有这台,同步辐射光源的小角散射装置……”
“TalysurfPRO+表面轮廓仪……”
“……”
张汝宁的语气充满惊叹。
“这些设备的投入,简直
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