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第257章 现实版星球大战
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先进的光刻机意味着自动化水平更高,意味着更短的波长,意味着光刻精度更好,当然也意味着更高的制程。
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而制程的提高一代,同样的晶体管结构,意味着晶体管密集度提升一倍,频率提升一倍。
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在130纳米制程之前,这个定律是有效的。
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而193纳米制程的光刻机,在没有铜连接以及finfet结构技术等加成下,也可以完成130纳米制程的半导体制造。
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要知道半导体制程是以前代大概0.7倍为一代,比如800纳米制程之后是560纳米,一般说500纳米,500纳米之后是350纳米,350纳米之后是250纳米,250纳米之后是180纳米,180纳米之后是130纳米。
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庞主任说:“赵总,你是说193纳米激光光刻机可以让西方半导体制程提升五代,能进行130纳米制程半导体制造?”
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小赵老师点点头说:“理论上可以!”
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半导体制程可不是一台光刻机就能解决的,不过先进的光刻机确实是最大的制约因素。
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“那么!”庞主任疑惑了,193纳米氟化氩激光器是102所的技术,这岂不是102扩散了先进的光刻机激光器,以至于让西方半导体制程大踏步进步?
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赵国庆说:“话不是这么讲,我们付出193纳米激光器技术,但我们同样得到了先进光刻机的设计,工台稳定,微机械加工,自动化生产线等技术!”
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庞主任惊愕道:“一年提升一次架构?一年提升一代半导体制程?”
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“……”庞主任不知道说什么
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